钇稳定氧化锆旋转靶材的制备方法及不锈钢管固定设备.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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钇稳定氧化锆旋转靶材的制备方法及不锈钢管固定设备.pdf

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本发明公开了钇稳定氧化锆旋转靶材的制备方法及不锈钢管固定设备，涉及靶材制造方法技术领域，包括以下步骤：步骤一，往质量百分比为92％‑96％的氧化锆粉末和质量百分比为4％‑8％的金属钇粉末中加入PVA粘结剂，并投入球磨机中，并加入去离子水，使溶液的固含量为50％‑70％，然后球磨3‑5小时，步骤二，将步骤一中球磨好的溶液通过喷雾造粒设备，制备成干燥粉末颗粒；本发明采用在氧化锆粉末中掺杂金属钇，高温煅烧后，钇夺取氧化锆中部分氧，达到氧化锆失氧的目的，形成氧化钇稳定氧化锆的导电粉末，通过等离子喷涂工艺

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114262861 A (43)申请公布日 2022.04.01 (21)申请号 202111591395.3 C23C 14/35 (2006.01)