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本发明公开了一种震动台的检测方法及装置,其中所述方法包括:确定标准震动台的多个震动角度;根据多个震动角度,获取预设的检测单元的X轴振幅和Y轴振幅;检测单元安装在标准震动台上,每个震动角度对应一X轴振幅和一Y轴振幅,X、Y分别标准震动台的两个不同震动方向;根据多个震动角度、多个X轴振幅和多个Y轴振幅,获得X轴振幅曲线和Y轴振幅曲线;根据X轴振幅曲线和Y轴振幅曲线,对待测震动台进行校准。本发明方法可显著提高点检效率,降低点检成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114252147 A
(43)申请公布日 2022.03.29
(21)申请号 202111581970.1
(22)申请日 2021.12.22
(71)申请人 昆山丘钛微电子科技股份有限公司
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