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一种衬底上的分布式布拉格反射器（DBR）结构，包括高折射率层（612）和低折射率层，该高折射率层（612）包括氧化钛，该低折射率层具有高碳区和与高折射率层（612）接触的至少一个低碳区。高折射率层（612）和低折射率层的多个层被堆叠。典型地，高折射率层（612）和低折射率层的多个层被堆叠至小于10微米的厚度，高折射率层（612）和低折射率层的相应层中的每一个具有小于0.2微米的厚度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114270545 A
(43)申请公布日 2022.04.01
(21)申请号 202080060446.7 (74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
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