纳米阵列制备系统及纳米阵列制备方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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纳米阵列制备系统及纳米阵列制备方法.pdf

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本发明公开了一种纳米阵列制备系统及纳米阵列制备方法。其中，纳米阵列制备系统包括：激光器，用于生成激光，并用于在基板的第一路径辐照生成第一纳米阵列；控制器，与激光器连接；位移台，用于承载基板；其中，激光器包括光束整形模块，光束整形模块用于生成平顶线聚焦光束；控制器还用于控制位移台移动预设距离，以使激光在基板的第二路径辐照生成第二纳米阵列；其中第一纳米阵列与第二纳米阵列间呈现交错排布，并在连续扫描中生成类蜂窝状的二维纳米结构。本发明的纳米阵列制备方法能够实现纳米阵列的高效大面积制备。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114221208 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111367350.8 (22)申请日 2021.11.18 (71)申请人南方科技大学地址