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2023-05-04 发布于北京
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本发明提出一种MEMS麦克风芯片，其包括具有背腔的基底以及设置于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括相对间隔形成腔体的背板及振膜，所述背板固定于所述基底，所述振膜位于所述背板远离所述基底的一侧，所述空腔内设有支撑柱，沿振动方向，所述支撑柱的一端固定于所述振膜、另一端固定于所述背板，在减小背腔体积的同时，将振膜设置在背板远离基底的一侧，既提高了振膜的共振频率又保证了较好的信噪比，以使MEMS麦克风芯片具有更佳的声音感测性能；并通过设置支撑振膜的支撑柱，提高了振膜的抗跌落性能和可靠性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114257936 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111401107.3 (22)申请日 2021.11.24 (71)申请人瑞声声学科技（深圳）有限公司