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本发明提供了一种提高高精度光学元件反射率/透射率的测量方法,该方法基于分光光度计原理,使用伪随机码以及特定频率载波对单激光器光源进行调制,将分束镜分出的两束光分别作为测量光与参考光,经探测器收集,电路采样,相关累积处理最终得出光学元件反射率/透射率。与传统的测量方法相比,具有更高的信噪比和抗干扰能力,相关累积的算法也提高了检测精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114264453 A
(43)申请公布日 2022.04.01
(21)申请号 202111607955.X
(22)申请日 2021.12.21
(71)申请人 电子科技大学
地址
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