一种可编程超窄功率脉冲锐化电路及方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种可编程超窄功率脉冲锐化电路及方法.pdf

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本发明公开了一种可编程超窄功率脉冲锐化电路及方法，属于功率半导体技术领域，所述锐化电路包括依次连接的直流电源、第一电容C1、第一半桥电路、第二半桥电路和负载，所述第一半桥电路和第二半桥电路级联输出超窄功率脉冲；所述第一半桥电路至少包括一对控制信号互补的晶体管，所述第二半桥电路至少包括一对控制信号互补的晶体管；所述第二半桥电路的控制信号较所述第一半桥电路的控制信号延时，使得所述锐化电路快速放电。本发明通过控制脉宽为纳秒级且峰值功率极高的放电脉冲的方法降低放电蚀除材料时的融化率，大幅提高汽化率，从而

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114257219 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111600205.X (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人西南科技大学地址