微纳器件三维结构光学检测装置及方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约6.54千字
约 6页
2023-05-04 发布于北京
举报
版权申诉

微纳器件三维结构光学检测装置及方法.pdf

1、本文档共6页，其中可免费阅读5页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种微纳器件三维结构光学检测装置，包括光源、光束整形模块、半透半反镜、聚焦透镜、平移台、探测器和计算机，其中，光源输出的激光经过所述光束整形模块完成整形扩束，扩束后的平行光束由半透半反镜反射，再由聚焦透镜聚焦，照射到待测样品上；将待测样品放置在所述平移台上，且处于离焦位置；反射光束依次经过聚焦透镜、半透半反镜后由所述探测器探测；平移台和探测器由所述计算机联动控制，实现扫描、数据采集同步进行。本发明提出的装置及方法可测量线和沟槽的线宽、高度/深度、侧壁角等及各参数均匀性，颗粒和孔的直径、高度/深度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114252007 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202011005007.4 G01B 11/26 (2006.01)