一种弹片式晶圆在位检测装置及检测方法.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种弹片式晶圆在位检测装置及检测方法.pdf

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本发明公开了一种弹片式晶圆在位检测装置及检测方法，所述弹片式晶圆在位检测装置包括固定座、摆动件和传感器，所述固定座沿晶圆交换装置的托架的周向设置，所述摆动件的一端通过杆件转动连接于所述固定座，摆动件的另一端配置有感应块，所述传感器设置于托架的内部；所述摆动件能够绕所述杆件摆动，使得感应块与传感器的相对位置发生改变，根据两者的位置变化判定晶圆是否在位。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114279380 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111612454.0 (22)申请日 2021.12.27 (71)申请人华海清科股份有限公司