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一实施例的沉积源包括沉积模块以及收纳沉积模块的壳体，沉积模块包括：第一坩埚，沿着第一方向延伸，并且在内部空间收纳沉积物质；多个喷嘴，配置在第一坩埚上，并且沿着第一方向排列多个喷嘴；发热部件，收纳第一坩埚；以及辐射热防止部件，配置在发热部件的上表面、外侧面和下表面上，辐射热防止部件包括多个反射器以及分别连接多个反射器之中的相邻的反射器之间的多个销，多个销被配置成在平面上彼此错开。本发明的沉积源防止在沉积源内产生的热朝向沉积源的外部的损失或散出，从而提供一种在高温环境下提高了可靠性的沉积源。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114293150 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202110939105.3
(22)申请日 2021.08.16
(30)优先权数据
10-2020-0
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