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本发明提供准分子激光器性能综合测试装置,包括腔体,所述腔体具有入光口,所述腔体内设置有旋转组件、第一光纤探头、第二光纤探头以及光电转换器,所述旋转组件上设置有分光组件,所述入光口对应所述分光组件的入射光路,所述第一光纤探头位于所述分光组件的透射光路上、第二光纤探头以及光电转换器均位于所述分光组件的反射光路上,所述第一光纤探头光纤连接波长计,所述第二光纤探头光纤连接光谱仪,所述光电转换器电连接示波器,本发明中,测试装置可对准分子激光器的综合性能,即准分子激光器的光束质量、光谱、脉宽、偏振及能量进行
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114323570 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202011051231.7
(22)申请日 2020.09.29
(71)申请人 北京科益虹源光电技术有限公司
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