一种分子束外延专用气液分离器.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种分子束外延专用气液分离器.pdf

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本发明公开了一种分子束外延专用气液分离器，包括有呈卧式状的气液分离器罐体，所述气液分离器罐体端部设置有进液口和排气口，所述进液口上连通设置有向气液分离器罐体内部水平延伸的进液内管，所述排气口上连通设置有向气液分离器罐体内部水平延伸的内排气管，所述内排气管位于气液分离器罐体的内顶部；所述气液分离器罐体底部设置有与其内部连通的出液口和分子束外延排气进口，所述分子束外延排气进口上连通设置有向气液分离器罐体内部竖直向上延伸的分子束外延排气内管。本分离装置在向分子束外延设备输送液氮的同时，也能够将从分子束

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114272688 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111561767.8 (22)申请日 2021.12.20 (71)申请人武汉克莱澳科技有限公司