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FAB内基于设备作业特性的智能派工方法与系统.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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FAB内基于设备作业特性的智能派工方法与系统.pdf

    一种FAB内基于设备作业特性的智能派工方法，包括：获得当站需派工的Lot和设备，根据设备特性和Lot特殊需求对机组群所需判定的派工规则进行命名；建立规则池，进一步包括通用规则和特殊规则；根据每条规则定义若干项派工规则项，并组建优先等级作为常规生产型派工标准；根据生产线需求，构筑目标导向型派工标准，并定义启动机制；每台设备派工时检测启动机制，根据启动机制自动选择使用标准。本发明通过执行规则池建立，常规生产型派工标准组建，目标导向型派工标准构筑，以及派工标准人工智能化选择不仅可以实时获取设备及Lot

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114298546 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111629482.3 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 上海华力微电子有限公司

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