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一种等离子体反应器.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种等离子体反应器.pdf

    本发明提供一种等离子体反应器，包括反应器腔室，所述反应器腔室设有第一抽气环、第二抽气环、喷头面板和加热器；所述喷头面板用于向所述反应器腔室喷洒等离子体；所述第一抽气环与所述第二抽气环互相配合；所述第二抽气环与所述加热器互相配合；所述第二抽气环开设有通孔，所述通孔的数量为若干个，所述通孔贯穿所述第二抽气环；所述加热器用于提供等离子体反应的温度条件。该等离子体反应器用于简化加工过程，消除加工死角，节约加工成本，便于更换工艺工况，提升抽气结构的利用率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114300336 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111632371.8 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 拓荆科技股份有限公司

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