一种光学常数连续可调的薄膜生长方法.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种光学常数连续可调的薄膜生长方法.pdf

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本发明属于薄膜生长领域，具体涉及一种光学常数连续可调的薄膜生长方法，包括制备前驱液；对基底进行表面处理；处理完成后，在基底上吸附生长一层均匀的液膜；将吸附生长一层均匀的液膜的基底放置在300‑400℃的炉管中低温热处理；为提高效率和提高薄膜质量，低温热处理完成后，可重复液膜生长和低温热处理的操作，得到较厚的膜层；接着将炉管温度升至800‑1300℃进行高温热处理，进而得到光学常数连续可调节的光学薄膜；本发明通过改变前驱液成分、薄膜沉积条件和热处理条件，实现光学常数连续可调，使得滤光膜的膜系结构可

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114277363 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111591537.6 (22)申请日 2021.12.23 (71)申请人中国电子科技集团公司第四十四研