一种体声波谐振装置的形成方法.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种体声波谐振装置的形成方法.pdf

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一种体声波谐振装置的形成方法，包括：形成第一层，包括：提供第一基底；形成压电层，位于第一基底上；形成第一电极层，位于压电层上；形成空腔预处理层，位于压电层上，用于形成空腔，空腔预处理层至少覆盖第一电极层的第一端，其中，第一层的第一侧对应第一基底侧，第一层的第二侧对应空腔预处理层侧(S201)；形成第二层，包括：提供第二基底(S203)；连接第一层和第二层，其中，第二层位于第二侧(S205)；去除第一基底，第一侧对应压电层侧(S207)；形成第二电极层，位于第一侧，接触压电层(S209)；以及去除

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114342255 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 201980098505.7 (51)Int.Cl.