涡轮分子真空泵.pdfVIP

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2023-05-05 发布于北京
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一种涡轮分子真空泵(1)，其包括定子(2)、构造成在定子(2)中围绕旋转轴线(I‑I)旋转的转子(3)、以及调节阀(13)，所述调节阀(13)构造成通过朝向或远离所述真空泵(1)的吸入孔口(6)的轴向位移来改变所述真空泵(1)的入口传输率。调节阀(13)的面向吸入孔口(6)的面(15)具有中空形式。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114286895 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202080059612.1 (74)专利代理机构北京市中咨律师事务所