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本发明公开一种基于全场光电扫描的精密光栅测角方法及方法,该结构外壳,在外壳内设置旋转轴,在旋转轴上由左向右依次套设光源、标尺光栅和感知单元,光源、感知单元固定在外壳上,所述标尺光栅套设在旋转轴上随旋转轴旋转,且标尺光栅为透射式圆光栅,所述感知单元是栅状感知阵列,栅状感知阵列呈环形分布,栅状感知阵列上布置有N个周向均匀布置的扫描探测单元。本发明采用光电探测的栅状感知阵列进行干涉信号的全场探测,实现从“点”离散感知到“面”连续感知的突破,其优势在于:感知信号的全场误差均化效应、服役位姿误差的全场抑制
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114322852 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202111467436.8
(22)申请日 2021.12.03
(71)申请人 郑州轻工业大学
地址
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