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- 2023-05-05 发布于四川
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本发明涉及半导体加工的技术领域，特别涉及一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备及制造方法，其使用了一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，包括安装底板、支撑杆、安装轴、封边装置和驱动装置，所述的安装底板下端面靠近四个拐角处固定有多个支撑杆，安装底板上通过轴承转动安装有多个横向布置的安装轴，安装轴的上端连接有封边装置，其中一个安装轴的下侧连接有驱动装置。相比于现有技术，本发明设计了一种可通过调节以适应不同尺寸外延片的封边装置，提升了该制造加工设备的整体利用率和加工效率，并防止了外延片在进行旋转涂胶时光
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114296319 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111636383.8
(22)申请日 2021.12.29
(71)申请人 江苏布里其曼科技股份有限公司
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