一种平坦化装置及平坦化方法.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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一种平坦化装置及平坦化方法.pdf

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本发明公开了一种平坦化装置及平坦化方法，涉及半导体技术领域，用于在提高平坦化处理效率的同时，提升平坦化处理的精准度。所述平坦化装置包括：夹持部、粒子束生成器和遮挡部。夹持部用于夹持晶圆。粒子束生成器设置在夹持部的一侧，粒子束生成器用于生成对晶圆进行平坦化处理的粒子束，粒子束的轴向与晶圆的预保留部分的上表面平行。遮挡部设置在粒子束生成器与晶圆的预保留部分之间，遮挡部用于至少遮挡射向晶圆的预保留部分的粒子束。所述平坦化装置用于对晶圆进行平坦化处理。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334706 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202011080562.3 (22)申请日 2020.10.10 (71)申请人中国科学院微电子研究所