一种透明薄片状缺陷的检测方法.pdfVIP

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2023-05-05 发布于北京
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一种透明薄片状缺陷的检测方法.pdf

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本发明提供一种透明薄片状缺陷的检测方法，其中，包括以下步骤：提供一具有透明薄片状缺陷的检测样品；将所述检测样品置于暗场扫描机台中，并观察获得的扫描图像，转动所述检测样品，并改变所述暗场扫描机台的光源入射角，直至所述扫描图像噪点减少；改变所述光源的偏振参数，直至所述透明薄片状缺陷于所述扫描图像中亮度增强。本发明技术方案的有益效果为：可降低暗场扫描机台扫描图像的噪声，并增强透明薄片状缺陷的亮度，使透明薄片状缺陷可以被有效的检测到。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114280080 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111505957.8 (22)申请日 2021.12.10 (71)申请人华虹半导体（无锡）有限公司