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本发明属于真空镀膜设备技术领域,具体公开了一种真空腔体翻转结构,包括真空腔体,所述真空腔体底端设有支撑底座,所述支撑底座内部设有固定槽,所述固定槽一端向支撑底座一侧延伸,所述固定槽底端设有液压缸,所述液压缸上设有液压杆,所述真空腔体顶端设有盖板,所述盖板一端设有旋转臂,所述旋转臂设置在靠近固定槽的一侧,所述旋转臂末端通过铰链轴设置在液压杆末端,所述旋转臂与液压杆转动连接,本发明通过设置的自动翻转结构可以使盖板进行95°倾斜,无需行吊将盖板吊起,方面了对真空腔体内部机构的安装、维护,又同时减少了使
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114310752 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202210060931.5
(22)申请日 2022.01.19
(71)申请人 上海子创镀膜技术有限公司
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