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本申请公开了一种曝光设备,属于视觉技术领域。该曝光设备包括第一偏振分束镜、第三激光器、第一曝光组件、第二曝光组件和全息衍射基板。由于全息衍射基板位于第一曝光组件的出光侧和第二曝光组件的出光侧的交叠区域,所以当第一曝光组件和第二曝光组件可以同时向全息衍射基板的第一表面投射S偏振光,这两个不同光路的S偏振光可以在全息衍射基板的第一表面发生干涉,并可以在全息衍射基板的第一表面的感光膜上记录第三激光器投射的激光的波长、振幅和相位等信息,从而得到全息衍射光栅。该曝光设备组成简单,得到全息衍射光栅的过程简单
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114326126 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202210015999.1 G02B 5/32 (2006.01)
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