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本申请提供了一种三维存储器及其制备方法、存储系统、电子设备。三维存储器的制备方法包括:交替叠置阻隔层和停止层以形成复合结构,其中所述停止层包括第一停止层;在所述复合结构上交替叠置绝缘层和牺牲层以形成叠层结构;形成沿所述叠层结构的层叠方向延伸的第一沟道孔以及贯穿所述叠层结构并延伸至所述第一停止层的第二沟道孔;以及刻蚀所述第一沟道孔以使所述第一沟道孔延伸至所述第一停止层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114334994 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202111681450.8
(22)申请日 2021.12.29
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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