阵列基板及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于四川
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阵列基板及其制作方法.pdf

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本发明公开了一种阵列基板和阵列基板的制作方法，阵列基板包括：扫描线、栅极和栅极绝缘层；形成在栅极绝缘层上方的第一半导体层和导电连接线；形成在栅极绝缘层上方的蚀刻阻挡部，蚀刻阻挡部位于第一半导体层的上方；形成在栅极绝缘层上方的源极、漏极和数据线，源极、漏极以及蚀刻阻挡部共同覆盖第一半导体层；数据线包括多个第一导电段和多个第二导电段，第一导电段均位于相邻的两根扫描线之间，第二导电段的一端分别与第一导电段电性连接，第二导电段的另一端跨过扫描线与另一第一导电段电性连接，相邻的两根第二导电段分别与导电连接

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114335019 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111634981.1 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人昆山龙腾光电股份有限公司