一种评估半导体模块功率循环能力的方法和半导体模块.pdfVIP

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2023-05-06 发布于四川
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一种评估半导体模块功率循环能力的方法和半导体模块.pdf

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本申请涉及一种评估半导体模块功率循环能力的方法和半导体模块，所述方法包括：在待测半导体模块上设置漏极辅助电极和源极辅助电极；对半导体模块进行功率循环测试；通过漏极辅助电极和源极辅助电极获取测试数据，确定源极键合线电阻和焊层电阻；统计各个部分的电阻，获得源极键合线电阻和焊层电阻随功率循环周期的变化关系。本申请的方案将对每颗芯片增加辅助电极，能够以无损方式在线评估芯片键合线及焊层退化现象，得到芯片键合线及焊层电阻随功率循环次数的变化关系；电阻测试与功率循环测试集成，不需要改变原有功率循环测试过程，不

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114325288 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202210011740.X (22)申请日 2022.01.06 (71)申请人北一半导体科技（广东）有限公司