一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风.pdfVIP

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2023-05-06 发布于四川
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一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风.pdf

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本发明公开一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，包括置于衬底上表面的绝缘支撑层、分别置于绝缘支撑层两侧的第一、第二压电振膜。衬底采用长方体或者相距一定距离且两底面上有两边相等的三棱柱体形状相同的立体结构。所述两个结构相同的衬底均为每个压电振膜以极少部分设置在绝缘支撑层上，其余部分悬浮设置。本发明解决了现有技术中存在空腔大小不足、麦克风灵敏度不高、实现声源识别能力需采用大面积压电振膜但声源识别能力不高的问题，使得本发明具有更小的面积与更好的声源识别能力的优点。本发明在实际应用于系统芯片

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114363747 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202210020039.4 (22)申请日 2022.01.10 (71)申请人西安电子科技大学杭州研究院