动态随机存取存储器及其形成方法.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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一种动态随机存取存储器及其形成方法，其中方法包括：形成第一晶圆，所述第一晶圆内具有存储区和位于所述存储区外的若干外围电容区，一个外围电容区包括若干外围电容，所述存储区包括若干存储库，各存储库包括若干内存组，所述若干内存组沿第一方向和第二方向呈阵列排布，各内存组包括若干存储单元，各存储单元包括一个存储电容；形成第二晶圆，所述第二晶圆内具有逻辑电路区，所述逻辑电路区包括若干第一外围区和一个第二外围区，所述若干第一外围区沿第一方向和第二方向呈阵列排布；将所述第一晶圆和第二晶圆键合，并使一个所述第一外围

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114388508 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202210039251.5 (22)申请日 2022.01.13 (71)申请人芯盟科技有限公司地址