基于超薄二维氧化锡的氢气传感器及制作方法.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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基于超薄二维氧化锡的氢气传感器及制作方法.pdf

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本发明设计基于超薄二维氧化锡的氢气传感器及制作方法，是通过液态金属范德华力剥离法，在液态Sn表面剥离出SnO超薄二维材料，再退火氧化，制成稳定的SnO2，易于MEMS兼容以及集成。具体制作方法包括：在低氧环境下的手套箱中于石英管内放入Sn粉并抽真空后封装；约600℃的炉中烧结Sn粉；Sn块及Sn颗粒加热熔融，再分离出液态Sn；用载玻片挤压液态Sn，使液态Sn与Si/SiO2衬底接触，将Sn氧化薄膜转移到Si/SiO2衬底上；制成基于SnO超薄二维材料氢敏器件；再在约300℃环境下退火氧化。制成的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114371196 A (43)申请公布日 2022.04.19 (21)申请号 202111360496.X (22)申请日 2021.11.17 (66)本国优先权数据 2021102