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本发明提供一种电池背部结构,包括基底、隧穿氧化层、掺杂多晶硅薄膜层、扩散多晶硅薄膜层、氮化硅层和电极;所述隧穿氧化层设置于所述基底的表面;所述掺杂多晶硅薄膜层设置于所述隧穿氧化层的表面;所述扩散多晶硅薄膜层设置于所述掺杂多晶硅薄膜层的表面,且所述扩散多晶硅薄膜层的方阻小于所述掺杂多晶硅薄膜层的方阻;所述氮化硅层设置于所述扩散多晶硅薄膜层的表面;所述电极贯穿所述氮化硅层和部分所述扩散多晶硅薄膜层,且所述电极与所述掺杂多晶硅薄膜层分隔设置。本发明同时提供一种电池背部结构的制备方法和一种电池。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114400261 A
(43)申请公布日 2022.04.26
(21)申请号 202111617968.5 H01L 31/068 (2012.01)
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