取样量测方法及设备.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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取样量测方法及设备.pdf

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本申请提供一种取样量测方法及设备。该方法包括：根据生产单元对应制程的取样比例，周期性地对生产单元的在制品进行取样量测，其中，每个生产单元用于完成至少一个制程；根据生产单元对应制程的在制品的量测结果，确定生产单元对应制程的稳定性指标；根据生产单元对应制程的稳定性指标，对生产单元对应制程的取样比例进行调整，并将调整后的取样比例作为最新取样比例。从而，在保证制程稳定性的基础上，实现了量测机台的最优测量分配。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114388382 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202210062516.3 (22)申请日 2022.01.19 (71)申请人长鑫存储技术有限公司