基板处理装置以及基板处理方法.pdfVIP

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2023-05-07 发布于北京
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基板处理装置以及基板处理方法.pdf

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本发明涉及一种基板处理装置以及基板处理方法。基板处理装置1具有处理单元14以及控制部18。处理单元14具有基板保持部31、旋转驱动部35、处理液供给部41、液体回收部50以及防护罩驱动部60。基板保持部31以水平姿势保持基板W。旋转驱动部35旋转基板保持部31。液体回收部50包括第一防护罩51、第二防护罩52以及液体导入口58。第一防护罩51以及第二防护罩52以围绕基板保持部31的侧方的方式配置。液体导入口58由防护罩划分。液体导入口58对被基板保持部31保持的基板W开放。防护罩驱动部60使第二

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114402420 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202080064773.X (74)专利代理机构成都超凡明远知识产权代理