3D量测机台的晶圆检测方法、装置、设备及存储介质.pdfVIP

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2023-05-08 发布于四川
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3D量测机台的晶圆检测方法、装置、设备及存储介质.pdf

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本发明涉及线光谱共焦技术领域，公开了一种3D量测机台的晶圆检测方法、装置、设备及存储介质，该方法对放置在基于非接触式线光谱共焦传感器的3D量测机台上的待检测晶圆盘进行2D定位，获得晶圆盘的第一圆心位置和第一颗芯片坐标，根据第一圆心位置和所述第一颗芯片坐标，计算晶圆盘对应的目标Map图，根据目标Map图、线光谱共焦传感器的量程和光谱线长，计算目标扫描轨迹，通过精确计算的目标Map图和目标扫描轨迹，提高晶圆盘的扫描精度和速度；根据目标扫描轨迹对晶圆盘进行扫描，获得晶圆盘对应的数据点信息；根据数据点信

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114440768 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202210096437.4 (22)申请日 2022.01.26 (71)申请人熵智科技（深圳）有限公司地址 5