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本发明提供了一种氧化铟锡合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将氧化铟和氧化锡置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物抽真空后冷等静压，得到粗坯，将所述粗坯进行二次压制，得到合金靶材生坯；C)将合金靶材生坯进行真空热压烧结，得到氧化铟锡合金靶材粗品；D)将所述氧化铟锡合金靶材粗品进行退火，将步骤A)的混合物等离子喷涂至退火后的氧化铟锡合金靶材粗品表面，得到氧化铟锡合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的氧化铟锡合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114436642 A
(43)申请公布日 2022.05.06
(21)申请号 202011233273.2
(22)申请日 2020.11.06
(71)申请人 湖南七点钟文化科技
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