一种基于模态局部化效应的MEMS电流传感器.pdfVIP

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2023-05-08 发布于四川
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一种基于模态局部化效应的MEMS电流传感器.pdf

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本发明公开了一种基于模态局部化效应的MEMS电流传感器，属于传感器领域。该传感器基于二自由度弱耦合谐振系统的模态局部化效应和采样电阻法，通过检测弱耦合谐振系统的幅值比来敏感外界电流信号。其主要结构包括：弱耦合谐振系统、采样电阻及电极部分。所述采样电阻在待测电流I流入后，获得一相应电压V，所述电压V经电连接，在弱耦合谐振系统的等效谐振器一101相应的电容板上得到一等势电压V，从而使得等效谐振器一101获得输入刚度扰动Δk。本发明通过一个采样电阻对电流进行敏感，并通过淀积和离子注入工艺控制采样电阻阻

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114441831 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202210034011.6 (22)申请日 2022.01.12 (71)申请人西北工业大学地址 710072