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铜箔石墨膜及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-08 发布于四川
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铜箔石墨膜及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种铜箔石墨膜及其制备方法，该制备方法包括步骤：(1)提供铜箔基板，且于所述铜箔基板一侧贴附干膜；(2)对所述干膜进行曝光工艺；(3)进行显影工艺，曝光部分露出所述铜箔基板，未曝光部分被所述干膜覆盖；(4)在曝光部分露出的所述铜箔基板表面沉积金属形成铜柱；(5)将所述干膜退去；(6)将半成品石墨膜与所述铜箔基板含所述铜柱一侧进行压合，得到铜箔石墨膜。该方法制得的铜箔石墨膜能够提高其厚度方向(即Z轴方向)的热传导率，且几乎不影响水平方向(即X轴和Y轴方向)的热传导率，且该铜箔石墨膜具有

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114434894 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202210159182.1 C23C 18/16 (2006.01)

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