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光学移相器及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-08 发布于四川
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光学移相器及其制造方法.pdf

    提供了一种光学移相器。光学移相器包括衬底、第一波导层、第二波导层、金属层以及第三波导层。第一波导层位于衬底之上。第二波导层位于第一波导层之上。金属层位于第二波导层之上，被配置为接收控制电压。第三波导层位于金属层之上。第二波导层和第三波导层共同构成的波导结构接收从第一波导层耦出的光。光在第三波导层中形成光场限制。第三波导层具有随控制电压变化的折射率，以对光的相位进行调制。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114442342 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202210160783.4 (22)申请日 2022.02.22 (71)申请人 联合微电子中心有限责任公司 地址

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