一种电致变色专用镀膜设备.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种电致变色专用镀膜设备.pdf

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本发明公开了一种电致变色专用镀膜设备，属于电致变色材料加工技术领域。本发明包括依次真空密封联接并相互独立的进片室、离子储存层制程室、第一搬运室、离子交换层制程室、第二搬运室、阴极变色层制程室和出片室，每个腔室均设有独立的门阀和真空泵；基片架：用于放置待处理的基板；搬运系统：包括依次穿过生产线的导轨、升降机构、真空泵、门阀、夹紧机构、传感器与动力组件；中央控制系统：用于控制整条生产线运行。本发明的三个制程室与进片室、出片室、搬运室串联起来，实现整个工艺的连续性，避免了产品反复破空后再进行另外一道工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114427076 A (43)申请公布日 2022.05.03 (21)申请号 202111635197.2 C23C 14/08 (2006.01) (22)申请日 2