一种衬套及晶圆预处理装置.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种衬套及晶圆预处理装置.pdf

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本发明涉及一种用于晶圆预处理装置的衬套，包括：环形侧壁，所述环形侧壁包括上环部和下环部；所述上环部设置有至少两组通气孔组，所述通气孔组由贯穿衬套内表面和外表面的若干个通气孔构成，每一组通气孔组沿着衬套的周向分布一圈。通过在衬套上设置多组通气孔组，加大了气流排出的流量，从而可以减小气流在腔体内淤积导致的分布不均匀，且多组通气孔组之间是上下排布的，避免了仅在某一平面抽气带来的气流湍急。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114420526 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210053490.6 (22)申请日 2022.01.18 (71)申请人江苏天芯微半导体设备有限公司