一种多腔体化学气相沉积设备.pdfVIP

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2023-05-08 发布于北京
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一种多腔体化学气相沉积设备.pdf

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本发明公开了一种多腔体化学气相沉积设备，包括箱体，所述箱体上设有气体供给结构，所述箱体内部通过若干个分隔结构分隔成多个腔体，所述箱体内部设有若干个加热结构，所述箱体内部设有若干个升降结构，若干个所述升降结构上均设有载物结构，本发明的有益效果是，在沉积时间较长的情况下，如金刚石膜、非晶硅膜，但不仅限于金刚石膜和非晶硅膜，可以在三个、十个或多个腔体的设备中同时进行沉积，一次性规模化完成膜材料的工业制备，节省了硬件投资成本和运行成本；在复杂的工艺条件和顺序下，视工艺条件而定，沉积工艺可以在单腔体中进行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114411120 A (43)申请公布日 2022.04.29 (21)申请号 202210071484.3 C23C 16/54 (2006.01) (22)申请日 2