硅棒切割方法、设备及系统.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.81万字
约 33页
2023-05-09 发布于北京
举报
版权申诉

硅棒切割方法、设备及系统.pdf

1、本文档共33页，其中可免费阅读32页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请实施例提供一种硅棒切割方法、设备及系统，其中，方法包括：以平行于硅棒长度方向的第一切面对硅棒进行切割，两个第一切面平行且对称设置在硅棒中心线的两侧，得到具有两个平行平面和相接在两个平面之间的弧面的中间棒；以平行于硅棒长度方向的第二切面对中间棒进行切割，两个第二切面平行且对称设置在硅棒中心线的两侧；第二切面与第一切面垂直，以得到截面为矩形的方棒；以平行于方棒长度方向的至少一个第三切面对方棒进行切割，第三切面与第一切面或第二切面平行，得到至少两个小硅棒。本申请实施例提供的硅棒切割方法、设备及系

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114454366 A (43)申请公布日 2022.05.10 (21)申请号 202110956608.1 (22)申请日 2021.08.19 (66)本国优先权数据