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本申请公开一种静电卡盘装置和温度控制方法,静电卡盘装置,包括自下而上依次设置的装置基体、加热层以及绝缘吸附层,所述加热层中设置有至少两个主加热器,所述主加热器用于加热所述静电卡盘装置承载的晶圆,所述绝缘吸附层中设置有吸附电极,所述吸附电极用于吸附所述晶圆;所述静电卡盘装置还包括控制器,所述绝缘吸附层中还设置有多个补偿加热器,多个所述补偿加热器均与所述吸附电极绝缘设置,且多个所述补偿加热器均与所述控制器电连接,所述控制器用于控制各所述补偿加热器的开启或关断,以及控制各所述补偿加热器的功率。上述技术
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114496889 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202210074039.2
(22)申请日 2022.01.21
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
地址
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