静电卡盘装置和温度控制方法.pdfVIP

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2023-05-09 发布于北京
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静电卡盘装置和温度控制方法.pdf

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本申请公开一种静电卡盘装置和温度控制方法，静电卡盘装置，包括自下而上依次设置的装置基体、加热层以及绝缘吸附层，所述加热层中设置有至少两个主加热器，所述主加热器用于加热所述静电卡盘装置承载的晶圆，所述绝缘吸附层中设置有吸附电极，所述吸附电极用于吸附所述晶圆；所述静电卡盘装置还包括控制器，所述绝缘吸附层中还设置有多个补偿加热器，多个所述补偿加热器均与所述吸附电极绝缘设置，且多个所述补偿加热器均与所述控制器电连接，所述控制器用于控制各所述补偿加热器的开启或关断，以及控制各所述补偿加热器的功率。上述技术

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114496889 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210074039.2 (22)申请日 2022.01.21 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址