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本发明公开了一种双面光栅波导的制备方法，包括：在第一子波导的第一表面上制备形成第一光栅层；在第二子波导的第一表面上制备形成第二光栅层；将所述第一子波导的第二表面和所述第二子波导的第二表面贴合连接，获得相对的两个表面均设置有光栅层的双面光栅波导。本申请中在形成双面光栅波导时，采用两个子波导代替常规技术中的完整的单波导结构，在两个子波导上各形成光栅层，再将两个子波导相互连接形成完整的波导结构，两个光栅层是分别在两个相互分离的子波导上独立形成的，保证了整个双面光栅波导的质量和工作性能。本申请还提供了一
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114488392 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202011271602.2
(22)申请日 2020.11.13
(71)申请人 杭州光粒科技有限公司
地址 310
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