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公开了一种半导体器件及其制造方法,其在漏电极设置第一导电柱和第二导电柱,第一导电柱连接至金属硅化物,通过金属硅化物连接漂移区,第二导电柱直接连接至漂移区。本发明提供的半导体器件及其制造方法设置两种导电柱引出漏电极,可在漂移区无漏掺杂区的情况下实现漏电极的引出,降低了漏掺杂区对半导体器件的横向尺寸的占用,为半导体器件的横向尺寸的降低提供了便利。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114497222 A
(43)申请公布日 2022.05.13
(21)申请号 202111625736.4
(22)申请日 2021.12.28
(71)申请人 矽力杰半导体技术(杭州)有限公司
地
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