具有增加的有效晶体管沟道宽度的复合介质栅光敏探测器.pdfVIP

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2023-05-09 发布于四川
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具有增加的有效晶体管沟道宽度的复合介质栅光敏探测器.pdf

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本发明公开了一种具有增加的有效晶体管沟道宽度的复合介质栅光敏探测器。该探测器包括形成在同一P型半导体衬底上方的复合介质栅MOS电容和复合介质栅MOSFET部分，二者均包括复合介质栅结构，并通过衬底中设置的浅沟槽隔离区实现功能分离；复合介质栅结构自下而上包括底层介质层、浮栅、顶层介质层和控制栅；复合介质栅MOSFET部分的浮栅为非平面结构。本发明通过改变光敏探测器中的复合介质栅MOSFET结构，有效提高了晶体管的沟道宽度，进而降低了光敏探测器的时域噪声，解决了当前由于光敏探测器尺寸减小所带来的噪声

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116072692 A (43)申请公布日 2023.05.05 (21)申请号 202310130063.8 (22)申请日 2023.02.17 (71)申请人南京大学地址 210046