一种可变光阑及光刻机.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.94万字
约 18页
2023-05-09 发布于北京
举报
版权申诉

一种可变光阑及光刻机.pdf

1、本文档共18页，其中可免费阅读17页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种可变光阑及光刻机。可变光阑包括：X向组件以及Y向组件；X向组件包括：X向滑轨；两个X向滑块，两个X向滑块沿X向间隔分布在X向滑轨上；X向刀片，设于X向滑块上；X向驱动装置，与X向滑块连接；Y向组件包括：Y向滑轨；两个Y向滑块，两个Y向滑块沿Y向间隔分布在Y向滑轨上；Y向刀片，设于Y向滑块上；Y向驱动装置，与Y向滑块连接；其中，两个X向滑块上的X向刀片与两个Y向滑块上的Y向刀片共同围成用于曝光的狭缝窗口。本发明还公开一种光刻机，包括上述可变光阑。本发明结构紧凑，且能增大刀片的运动行

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114488700 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202011263832.4 (22)申请日 2020.11.12 (71)申请人上海微电子装备(集团)股份有限公