一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置.pdf

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本发明涉及剥蚀检测技术领域，本发明公开了一种激光剥蚀等离子体质谱的样品引入装置，包括开放式样品采集机构以及与所述开放式样品采集机构连通的氦气输送机构，所述开放式样品采集机构包括外壳、中管、内管，所述内管与所述中管之间远离所述氯化钙玻璃的一端固定连接有调节所述氦气输送机构的出风风向的风向调节机构；针对剥蚀点周侧形状特征进行封闭，此时氦气输送机构将氦气通过通气环输送至固定V形环、风向切换V形环出分散的屏蔽气和聚拢气发生分散，当接触伸缩杆处于收缩状态时，此时封闭层内部空间过小，因此需要缩小屏蔽气与聚拢

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116072505 A (43)申请公布日 2023.05.05 (21)申请号 202211228235.7 (22)申请日 2022.10.08 (71)申请人山东省地质矿产勘查