1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种半导体设备及其检测方法.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.59万字
  • 约 14页
  • 2023-05-10 发布于四川
  • 举报

一种半导体设备及其检测方法.pdf

    本发明公开了一种半导体设备及其检测方法，首先通过控制面型数据采集设备采集当前区域的面型数据；接着获取当前区域的面型数据，并根据面型数据，控制线扫设备对当前区域进行追焦扫描，以对当前区域进行拍照形成至少一张线扫图像；其中，在当前区域的当前张线扫图像拍照完成的同时，获取当前张线扫图像，并对当前张线扫图像进行识别和处理；并在当前区域的最后一张线扫图像拍照完成的同时，控制面型数据采集设备开始采集下一区域的面型数据；最后，直至最后一区域的最后一张线扫图像被识别和处理，检测结束；由此，使得整个检测过程的效率

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520158 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202210140255.2 (22)申请日 2022.02.16 (71)申请人 合肥御微半导体技术有限公司 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >