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- 2023-05-10 发布于四川
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本发明提供一种制造可靠性高的蒸镀掩模的方法。本发明的蒸镀掩模的制造方法包括：对具有开口部的框主体的第1面，以覆盖所述开口部的方式粘接第1粘接层的步骤；沿着平面视时的所述框主体的至少内缘，有选择地对与所述框主体重叠的所述第1粘接层的一部分进行曝光的步骤；在曝光后的第1粘接层上粘接第1基板的步骤；和将所述框主体作为掩模来对所述第1粘接层的一部分进行显影的步骤。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114517282 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202111312278.9
(22)申请日 2021.11.08
(30)优先权数据
2020-191993 202
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