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- 2023-05-10 发布于四川
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本发明公开了一种集成电路芯片平整度检测设备，包括机座，所述机座上表面焊接有立柱，所述立柱固定连接有固定块，所述固定块侧壁固定连接有若干检测仪，所述固定块通过轴承贯穿转动连接有转动块，所述转动块内设置有用于平整度检测的检测机构；所述检测机构包括开设在转动块内侧壁的安装槽，所述安装槽内底壁固定连接有内齿圈，所述固定块内侧壁通过支架固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴过盈配合有第一齿轮，所述第一齿轮与内齿圈啮合，所述转动块开设有八个功能槽。优点在于：本发明相较于现有技术，可以连续且自动化的对芯片进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114515707 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202210145409.7
(22)申请日 2022.02.17
(71)申请人 深圳市通恒伟创科技
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